您可以利用在納米力學分析實驗室獲得的關于超薄薄膜機械特性方面的大量專業知識,來評價和改進介質薄膜的完整力學特性。我們的高產出和快速的周轉時間允許組合研究能夠高效地完成,從而優化加工參數。我們的實驗室運用多種技術進行機械特性描述,包括含有連續剛度測量(CSM)技術的動態納米壓痕測試,超低力準靜態納米壓痕測試,以及無與倫比的低力劃痕測試,使用專為測試超薄薄膜而設計的劃痕壓頭。
介質薄膜的納米壓痕

通常采用兩種技術來分析薄膜的硬度模量和彈性模量,即動態納米壓痕和準靜態納米壓痕技術。進行測試時,兩種技術的測試方法存在著根本的區別,但最終可獲得類似的結果,均可得到以穿透薄膜為函數的硬度和彈性模量圖。以下列舉了每種方法得到的圖形和表格結果。

連續剛度測量技術(CSM)
連續剛度測量(CSM)技術可用于動態壓痕測試,隨著壓頭以恒定速率壓入薄膜,可以觀察到薄膜機械性能的變化過程。該技術可以獲得從表面性能到基底性能的完整信息。納米力學甚至可以運用算法精確解釋基底的影響,使您得到壓頭壓入40%時的薄膜特性。

登錄我們的網站,獲得關于利用CSM技術測量薄介質機械性能的更多信息。納米力學圍繞測定薄膜機械性能的最佳測量技術進行了大量研究,定會為您提供測量薄膜機械性能的最先進的技術。

