北京中海遠創材料科技有限公司

G200納米壓痕儀操作規程

1、開啟儀器總電源（控制柜前部面板），再開計算機電源開關，然后打開NanoSuite軟件。

2、將樣品放入樣品臺中，調節高度至與中心標樣平齊，將樣品臺平穩放入機器中，調節減震臺Load Adjust旋鈕使之處于合適的狀態。

3、在Nano HandSet模式下，將鏡頭移至中心標樣處，切換到Nano Video HandSet模式下調節焦距使視場清晰，再將鏡頭移至樣品處，調節樣品高度使之對焦清晰，旋緊止動鈕。

4、從Mode菜單里面選取Batch Mode，從方法菜單里面選擇Open Method打開適合的實驗測試方法。

5、單擊Define選項卡以顯示Define頁面，根據屏幕的左邊的向導按步驟定義一個通用的批量實驗。“Allowable Drift Rate”設置了開始實驗的熱穩定標準，值越低，儀器等待時間越長，試驗結果越精確。壓痕點間距或行間距應該大于等于最大壓痕深度的20-30倍。

6、點擊Test按鈕顯示Test頁面；點擊綠色箭頭開始試驗測試。

7、原位掃描成像：從方法菜單里面選擇Open Method打開適合的掃描實驗方法，點擊Move under probe and engage使針尖逼近樣品。選擇需要掃描的區域，調整掃描行數、每行點數、掃描時間以及掃描時探針的加載力，點擊Run the test開始試驗。完成后升起探針。

8、實驗結束后，在壓頭處穿上兩個保護針，防止外部震動損壞傳感器。順序為先穿上部針，再穿下部針。然后退出測試程序、關閉計算機、最后關掉儀器總電源。