? P-17臺階儀(臺式探針式輪廓儀)
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    P-17臺階儀(臺式探針式輪廓儀)

    發布時間: 2021-08-12   |  瀏覽[ 2583 ]次  

     
     

    產品描述

    P-17臺式探針式輪廓儀是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統領先業界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

    該系統結合了UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能,程序設置簡便快速。P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

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    主要功能

    ·        臺階高度:幾納米至1000μm

    ·        微力恒力控制:0.0350mg

    ·        樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

    ·        視頻500萬像素高分辨率彩色攝像機

    ·        圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

    ·        軟件:簡單易用的軟件界面

    ·        生產能力:通過測序,模式識別和SECS/GEM實現全自動化


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    主要應用

    ·        臺階高度:2D3D臺階高度

    ·        紋理:2D3D粗糙度和波紋度

    ·        形狀:2D3D翹曲和形狀

    ·        應力:2D3D薄膜應力

    ·        缺陷復檢:2D3D缺陷表面形貌

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    工業應用

    ·        大學、研究實驗室和研究所

    ·        半導體和化合物半導體

    ·        LED發光二極管

    ·        太陽能

    ·        MEMS微機電系統

    ·        數據存儲

    ·        汽車

    ·        醫療設備

    ·        更多信息,請與我們聯系以滿足您的要求


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    提供選項

    P-17 OF(開放式框架)與P-17的功能相同,但其框架更大因而允許加載更大的樣本。該系統可配置成300mm晶圓或240 x 240mm卡盤。

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